迅音传感器在半导体生产的典型应用

2019-01-13
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  半导体和电子元件制造工业中使用的流体通常是腐蚀性的或超纯的,例如化学溶剂,酸,苛性碱,清洁剂,超纯水和去离子水。半导体工业中的流体管控需要精确可重复的测量仪器,同时必须满足纯度和清洁度的最高标准。

 

  迅音科技的外夹式超声波流量传感器/超声波流量计可安装在塑料(PTFE,Teflon,PFA)管道外部,不与液体直接接触,从而消除了泄漏和污染的可能。此外,我们的外夹式流量传感器/流量计不需要切断管道进行安装和测量,因此不必中断昂贵的设备运行进程,传感器/流量计本身也基本不需要维护,可以极大降低综合生产成本。

 

典型应用:

    * 验证泵和阀门性能
    * 测量超纯水流量和体积
    * 计量电路板冲洗系统
    * 监测氢氟酸系统流速
    * 计算废水排放量
    * 管控沉淀剂,还原剂和替代剂流量