确保清洗过程的稳定性和重复性
超纯水(UPW, Ultra Pure Water)在光伏、泛半导体、新能源等领域有着广泛的应用。超声波流量传感器作为这些领域中的重要元器件,发挥着关键作用。它们用于实时监测超纯水的流量,确保供水的安全可靠性,并监测泵和管路的工作状态,以保证清洗过程的稳定性和重复性。
应用案例
· 光伏行业:在太阳能电池板的制造过程中,超纯水用于清洗硅片表面,以去除微小颗粒和化学残留物。流量传感器实时监测超纯水的流量,确保清洗过程中水流稳定,从而提高清洗效果和产品可靠性。
·泛半导体制造:在芯片等元器件的制造过程中,超纯水常用于各工艺步骤的清洗,以确保元器件表面的清洁度。流量传感器实时监测超纯水的流量,同时监测泵和管路的工作状态,以确保清洗过程的安全性和可靠性。